设备:台阶仪Dektak XT
厂商:美国Bruke
用途:通过该测试,可以得到探针移动路径上样品的表面起伏数据,从而分析出样品的表面粗糙度、翘曲程度等信息。
技术指标:
l 扫描长度: 50µm-55mm
l 垂直测量范围: 1mm
l 台阶高度重现性5Å, 1σ 在1µm台阶上
l 垂直分辨率:最大1Å(6.5µm范围)
l 探针曲率半径:0.2 um ,2um
样品台尺寸:4英寸,6英寸,8英寸
地址:广东省东莞市松山湖国家高新区总部一号12栋5楼
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